В результаті дослідження закономірностей впливу структури оброблюваного матеріалу на продуктивність полірування і шорсткість полірованих поверхонь оптичних деталей і елементів зі скла, ситалів, оптичних та напівпровідникових кристалів встановлено, що продуктивність зняття оброблюваного матеріалу лінійно зростає у разі збільшення розміру частинок шламу. Показано, що коефіцієнт об'ємного зносу у разі збільшення енергії перенесення суттєво зменшується під час полірування оптичних та напівпровідникових кристалів і незначно спадає під час полірування оптичного скла і ситалів. Показано, що параметри шорсткості полірованих поверхонь лінійно зростають у разі збільшення відстані між шарами молекулярних фрагментів або міжплощинних відстаней в оброблюваному матеріалі.