| |
Bordun, O. M.
Surface Morphology of Thin -Ga2O3 Films Obtained by Radio-Frequency Sputtering [Текст] / O. M. Bordun, B. O. Bordun, I. Yo. Kukharskyy
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2021. – Т. 19, № 1. – С. 159-166.
Дослідження морфології поверхні тонких плівок методою атомносилової мікроскопії (АСМ) показали, що при проведенні термооброблення зростає середній розмір нанокристалічних зерен, які формують плівки. |
