| |
Zaidi, B.
Annealing and HydrogenationEffects on the ElectricalProperties of Polysilicon Thin Films [Текст] / B. Zaidi, C. Shekhar, K. Kamli
// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2021. – Т. 19, № 1. – С. 133-138.
Електричні параметри мікроелектронних пристроїв обмежені наявністю меж зерен, в тому числі обірваних зв'язків, які можуть представляти стани з пастками для неосновних носіїв заряду. |
