| |
Моделювання дослідження однорідності поля повітряного потоку системи осадження HFCVD з урахуванням розстановки ниток розжарення [Текст] / D. Fuming, H. Cen, G. Zhenhai [та ін.]
// Надтверді матеріали. – 2021. – № 2. – С. 55-71.
Метод CVD з ниткою розжарення має багато переваг, таких як застосування простого обладнання, простота в експлуатації і низькі витрати, що дозволяє широко використовувати його у промисловому виробництві інструментів з алмазним покриттям. |
