Досліджено вплив струму розпилення та температури відпалювання на структуру, склад і механічні властивості плівок Ti–Al–C і Ti–Al–Si–C, осаджених на Si (100) підкладки за допомогою методу магнетронного на постійному струму розпилення композиційної Ti–Al, графітової і SiC мішеней при різних значеннях току розпилення. Дослідження було проведено методами рентгенівської дифракції (РД), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (РФЕС), атомно-силової мікроскопії, вимірюванням твердості. Осаджені плівки мали аморфну структуру з досить низькою (0,25–0,27 нм) середньоквадратичною шорсткістю.