| |
Використання халькогенідних склоподібних напівпровідників для створення мікр- та нанорозмірних структур [Текст] / В. В. Петров, А. А. Крючин, В. М. Рубіш [та ін.]
// Реєстрація, зберігання і обробка даних. – 2020. – Т. 22, № 2. – С. 7-18.
Представлено результати аналізу методів формування мікро- та нанорозмірних елементів на тонких плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників, що базуються на числених експериментальних даних, і визначено можливості їхнього застосування для створення оптичних дифракційних елементів. |
