|
| | |
Логвиненко, В.
Технологічний контроль процесів сухого травлення матеріалів при виготовленні інтегральних схем [Текст] / В. Логвиненко, Ю. Воловик
// Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 184.
|
| |
|
