|
| | |
Шубін, О.
Контроль товщини алмазоподібної плівки в процесі її напилювання у високовольтному тліючому розряді [Текст] / О. Шубін
// Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування (СПРТП-2005) : Матеріали І Міжнародної конференції; м. Вінниця, 2-5 червня 2005 року / ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2005. – С. 101.
|
| |
|
