|
Вплив карбонізації філаментів на CVD-алмазні товсті плівки, виготовлені методом HFCVD [Текст] / D. Fuming, H. Cen, G. Zhenhai [та ін.] // Надтверді матеріали. – 2020. – № 5. – С. 69-78.
CVD-метод з гарячою ниткою розжарювання (філаментом) має багато переваг – просте обладнання, легкість експлуатації, низькі витрати. Це робить його методом, що найбільш широко використовують при отриманні товстих алмазних плівок. У роботі філамент з танталу використовували в апараті хімічного осадження із парової фази для карбонізації при різній температурі протягом різного часу, експерименти із осадження проводили на молібденовій підкладці. |