Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Вплив карбонізації філаментів на CVD-алмазні товсті плівки, виготовлені методом HFCVD [Текст] / D. Fuming, H. Cen, G. Zhenhai [та ін.]
    // Надтверді матеріали. – 2020. – № 5. – С. 69-78.

   CVD-метод з гарячою ниткою розжарювання (філаментом) має багато переваг – просте обладнання, легкість експлуатації, низькі витрати. Це робить його методом, що найбільш широко використовують при отриманні товстих алмазних плівок. У роботі філамент з танталу використовували в апараті хімічного осадження із парової фази для карбонізації при різній температурі протягом різного часу, експерименти із осадження проводили на молібденовій підкладці.

  УДК 539.234: 621.921.34:677.027.232:621.3.032.213.62


            


Є складовою частиною документа Надтверді матеріали [Текст] = Сверхтвердые материалы : науково-теоретичний журнал / НАН України, ін-т надтвердих матеріалів ім. В. М. Бакуля. – 2020. – № 5. – з № 6 2018 року журнал виходить на укр. мові.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'