|
Структура та властивості покриттів із системи Al–B–Si–C, отриманих магнетронним розпиленням [Текст] / А. О. Козак, В. І. Іващенко, П. Л. Скринський [та ін.] // Надтверді матеріали. – 2020. – № 5. – С. 34-48.
Проведено дослідження структурних, механічних і електро-фізичних властивостей Al–B-, Al–B–C- і Al–B–Si–C-покриттів, отриманих дуальним магнетронним розпиленням мішені з AlB_2, SiC і графіту. Змінним параметром був струм I_AlB, прикладений до AlB_2-мішені. Отримані покриття досліджували за допомогою рентгенівської дифракції, інфрачервоної спектроскопії (FTIR), рентгенівської фотоелектронної спектроскопії (XPS) та шляхом аналізу результатів вимірів твердості за Кнупом і вольт-амперних характеристик. |