|
Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію [Текст] / А. О. Дружинін, О. П. Кутраков, С. І. Нічкало, В. М. Стасів // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2018. – № 3. – С. 9-14.
Розроблено інформаційно-вимірювальну систему на основі датчика тиску з тензорезисторами, виготовленими з ниткоподібних кристалів кремнію, яка забезпечує можливість одночасного вимірювання тиску та температури. |