|
Одарич, В. А. Особливості будови й оптичних властивостей приповерхневого шару кремнію [Текст] / В. А. Одарич, Л. В. Поперенко, І. В. Юргелевич // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. – 2019. – Т. 17, № 3. – С. 507-518.
Виконано міряння еліпсометричних параметрів світла, відбитого від поверхні зразка поруватого кремнію,витриманого навідкритому повітрі протягом понад два роки.Одержані залежності еліпосометричних параметрів від кута падіння світла якісно описано двошаровим моделем поверхневої плівки товщиною приблизно у 140 нм. |