|
Вплив додаткового буферного шару на чутливість сенсора СРБ на основі ІСПТ [Текст] / О. Ю. Кутова, М. Г. Душейко, М. О. Семененко [та ін.] // Вісник Вінницького політехнічного інституту. – 2018. – № 5. – С. 98-104.
Запропоновано й досліджено сенсор на основі іон-селективного польового транзистора (ІСПТ) для електронного детектування С-реактивного білка (СРБ). CРБ є маркером виявлення запальних процесів в організмі, а також дозволяє прогнозувати ймовірність виникнення серцево-судинних захворювань. Описано фізико-технологічні та топологічні особливості запропонованого сенсора на основі ІСПТ з підзатворним діелектриком СеО_2. Двоокис церію є перспективним матеріалом для використання в якості підзатворного діелектрика для МДН-транзисторів і має низку переваг у порівнянні з плівками двоокису кремнію, який широко використовується для виготовлення ІСПТ. |