Проведены комплексные исследования формирования сверхтвердого состояния в вакуумно-дуговом высокоэнтропийном покрытии TiZrHfNbTaYN. Установлены закономерности реализации триады состав–структура–физико-механические свойства в зависимости от подаваемого потенциала смещения U_b. Показано, что увеличение U_b при нанесении покрытия приводит к уменьшению относительного содержания легкой (Ti) и повышению тяжелой (Ta, Hf) металлических составляющих, что определяется радиационно-стимулированными процессами в приповерхностной области при осаждении.