| |
Аунг, Т.
Исследование коэффициента жесткости кремниевых балок микромеханических резонансных акселерометров [Текст] / Т. Аунг, Б. М. Симонов, С. П. Тимошенков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2017. – Т. 21, № 3. – С. 276-284.
Представлена математическая модель прямоугольной складчатой кремниевой балки микромеханического резонансного акселерометра, получено соотношение для определения коэффициента жесткости складчатой пружины, применяемой в ряде конструкций микромеханических датчиков, приведены результаты расчета ее параметров. С помощью программы ANSYS проведено моделирование складчатой балки, подтвердившее результаты расчета. Результаты расчета коэффициента жесткости складчатой балки сравниваются с данными из других источников. |
