| |
Магнетронное распылительное устройство с генерацией импульсных пучков высокоэнергетических атомов газа [Текст] / А. С. Метель, С. Н. Григорьев, М. А. Волосова, Ю. А. Мельник
// Приборы и техника эксперимента. – 2017. – № 2. – С. 144-151.
Приводятся результаты исследования осаждения покрытий с помощью источника совмещенного потока атомов металла и высокоэнергетических атомов газа. |
