П12 |
Павлов, С. М. Технологія мікроелектронних засобів [Текст] : навчальний посібник / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2017. – 169 с. – 97,30 грн, 50 пр.
В навчальному посібнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів. |