| П12 |
Павлов, С. М.
Технологія мікроелектронних засобів [Текст] : збірник завдань / С. М. Павлов, О. В. Войцеховська ; ВНТУ. – Вінниця : ВНТУ, 2017. – 77 с. – 46,65 грн, 50 пр.
В збірнику розглянуто основні процеси технології мікроелектронних засобів, зокрема процеси механічної обробки та підготовки напівпровідникових пластин, а також такі методи отримання структур, як епітаксіальне нарощування,фотолітографія, дифузія та ін. |
