| |
Козлов, Д. В.
Установка по исследованию деформационных характеристик объектов микроэлектромеханики [Текст] / Д. В. Козлов, В. Л. Семенов
// Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 6. – с. 97-103.
Описана установка на основе к.м.о.п.-видеокамеры для исследования деформации подвыжных элементов микроэлектромеханических устройств размером от сотен микрон до единиц миллиметров в диапазоне температур от 103 до 423 К, а также при наличии внешних возмущающих факторов в виде приложенной нагрузки или электрических импульсов. |
