| |
Характеристики и применения полупроводниковых детекторов отраженных электронов в сканирующем электронном микроскопе [Текст] / С. В. Зайцев, С. Ю. Купреенко, Э. И. Рау, А. А. Татаринцев
// Приборы и техника эксперимента. – 2015. – № 6. – с. 51-59.
Представлена конфигурация полупроводниковых детекторов отраженных электронов для сканирующего электронного микроскопа. Переменная ширина колец детектора и их наклонное расположение в плоскости регистрации электронов в несколько раз повышает эффективность детектирования, что позволяет более качественно разделять контраст изображений топографии поверхности и состава изучаемого образца. |
