Описан разработанный в ИФМ РАН лабораторный рефлектометр для прецизионных измерений спектральных и угловых зависимостей коэффициентов отражения и пропускания оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм. Для монохроматизации излучения используется высокоразрешающий спектрометр Черни–Тернера с плоской дифракционной решеткой и двумя сферическими коллимирующими зеркалами. Фокусировка зондового монохроматического пучка на исследуемом образце производится с помощью тороидального зеркала.