Описана установка для измерения неравновесных вольт-фарадных характеристик в полупроводниковых структурах с электролитическим контактом. Использован импульсный метод, в котором область объемного заряда в режиме глубокого объединения создавалась путем подачи импульса напряжения смещения. Измерение емкости в неравновесном режиме позволяет избежать образования инверсного слоя в системе электролит-полупроводник.