| |
Интегральный варикап повышенной емкости на основе пористого кремния [Текст] / С. П. Тимошенков, А. Н. Бойко, Д. С. Гаев, Р. М. Калмыков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2017. – Т. 22, № 1. – С. 15-19.
Рассмотрена возможность применения пористого кремния при создании варикапов с большим коэффициентом перекрытия по емкости, удовлетворяющих требованиям микроэлектроники и микросистемной техники. Описана технология изготовления конденсаторных структур с применением гальванического осаждения меди в поры пористого кремния. Исследованы морфологические особенности экспериментальных структур, определена удельная емкость варикапов. |
