Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Анализ изготовления чувствительного элемента микроакселерометра [Текст] / И. В. Уваров, О. В. Морозов, М. К. Аминов [и др.]
    // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 5. – С. 448-455.

   Приведены результаты анализа изготовления чувствительного элемента микроакселерометра емкостного типа на основе высокоаспектных встречно-штыревых гребенчатых структур, созданного по объемной технологии с использованием процессов глубокого анизотропного травления кремния (Bosch-процесса) и анодного сращивания со стеклом.

  УДК 681.586


            


Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Электроника [Текст] : научно-технический журнал. – 2016. – Т. 21, № 5.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'