| |
Анализ изготовления чувствительного элемента микроакселерометра [Текст] / И. В. Уваров, О. В. Морозов, М. К. Аминов [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 5. – С. 448-455.
Приведены результаты анализа изготовления чувствительного элемента микроакселерометра емкостного типа на основе высокоаспектных встречно-штыревых гребенчатых структур, созданного по объемной технологии с использованием процессов глубокого анизотропного травления кремния (Bosch-процесса) и анодного сращивания со стеклом. |
