| |
Подвигалкин, В. Я.
Резистивные и емкостные структуры толстых пленок для микросборок на основе полимерных нанокомпозиционных материалов [Текст] / В. Я. Подвигалкин, Н. М. Ушаков
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 1. – С. 3-8.
Приведены результаты измерения электропроводности и емкости микросборок, разработанных на основе толстых пленок композитных наноматериалов. |
