|
О получении уменьшенных рентгеновских изображений при отражении излучения от шаблона под критическими углами [Текст] / И. А. Артюков, А. С. Бусаров, А. В. Виноградов, Н. Л. Попов // Квантовая электроника. – 2016. – Т. 46, (9). – С. 839-844.
Предложены и промоделированы оптические схемы для получения уменьшенных изображений с помощью рентгеновских лазеров или генераторов гармоник в области длин волн ~14 нм. Шаблон в этом случае располагается под малым углом к оптической оси, соответствующим углу полного внешнего отражения материала. |