Экспериментально продемонстрировано формирование поперечных мод Эрмита–Гаусса до третьего порядка включительно при освещении бинарно-фазовых дифракционных оптических элементов (ДОЭ) субтераваттными лазерными импульсами фемтосекундной длительности.