| |
Тонкопленочный отрицательный электрод на основе композита кремния для литий-ионных аккумуляторов [Текст] / А. А. Айрапетов, С. В. Васильев, Т. Л. Кулова, М. Е. Лебедев
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 305-312.
Приведены результаты экспериментов по отработке технологии изготовления тонкопленочных отрицательных электродов для литий-ионных аккумуляторов. Описаны режимы напыления и возможности управления структурой и фазовым составом пленок, методы диагностики структуры и фазового состава. |
