| |
Парфенов, Н. М.
Анализ технологических особенностей при изготовлении структур КНИ МЭМС-преобразователей [Текст] / Н. М. Парфенов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 235-239.
В настоящее время все интенсивнее внедряется в производство технология изготовления структур кремний-на-изоляторе (КНИ), что обеспечило прорыв в развитии микро- и наноэлектроники. |
