| |
Формирование рельефных рисунков из серебра и селенида цинка методом "взрывной" фотолитографии [Текст] / Д. В. Лысич, С. В. Зеленцов, В. Е. Котомина, И. Н. Антонов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 203-207.
Расмотрено проведение "взрывной" фотолитографии на кремниевых подложках. В качестве "взрываемого" слоя наносился слой серебра либо слой селенида цинка. |
