| |
Математическая модель поляризации тонкопленочных электродов [Текст] / И. А. Кузнецова, А. Н. Куликов, Т. Л. Кулова [и др.]
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 190-196.
Приведен вывод уравнения поляризации для тонкопленочного электрода на основе кремниевого нанокомпозита. Малая толщина активного слоя позволяет сделать ряд упрощающих допущений при выводе уравнения и рассмотреть случай слабой поляризации. |
