Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
          Кремниевый сублимационный источник для молекулярно-лучевой эпитаксии [Текст] / В. Г. Шенгуров, С. А. Денисов, В. Ю. Чалков, Д. В. Шенгуров
    // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 3. – С. 138-141.

   Описан сублимационный источник для молекулярно-лучевой эпитаксии кремниевых слоев с пластиной из легированного Si прямоугольной формы.

  УДК 537.311.33


            


Є складовою частиною документа Приборы и техника эксперимента [Текст]. – 2016. – № 3.



Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'