| |
Рябышенков, А. С.
Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники [Текст] / А. С. Рябышенков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 3. – С. 218-223.
Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. |
