|
Установка для термодиффузионного синтеза многокомпонентных полупроводниковых соединений [Текст] / Т. М. Гаджиев, С. Н. Каллаев, Р. М. Гаджиева [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 2. – С. 146-151.
Описана установка, предназначенная для проведения процессов термодиффузнного синтеза многокомпонентных полупроводниковых соединений. |