| |
Влияние шероховатостей, детерминированных и случайных ошибок в толщинах пленок на отражательные характеристики апериодических зеркал для ЭУФ диапазона [Текст] / П. К. Гайкович, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко [и др.]
// Квантовая электроника. – 2016. – Т. 46, № 5. – С. 406-413.
На примере трех апериодических многослойных Mо/Si-зеркал для диапазонов длин волн 17-21 нм, 24-29 нм и 28406-33 нм численно изучено влияние детерминированных по линейному закону и случайных флуктуаций толщин пленок и межслойных шероховатостей на спектральные зависимости коэффициентов отражения. |
