| |
Формирование двухкомпонентных вертикальных контактных структур для монтажа кристаллов интегральных схем [Текст] / В. М. Рощин, И. Н. Петухов, К. С. Сеньченко [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – № 2. – С. 116-121.
Рассмотрены технологические возможности послойного электрохимического формирования вертикальных контактных структур на основе системы медь-олово для монтажа кремниевых кристаллов, в том числе по 3D-технологии. |
