| |
Баринов, С. М.
Кинетика роста и плазменной деструкции полимерных пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане [Текст] / С. М. Баринов, А. М. Ефремов
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 2. – С. 98-104.
Проведено экспериментальное исследование кинетики осаждения полимерных пленок в плазме метана, а также кинетики их плазменной деструкции в аргоне и кислороде. |
