| |
Электрофизические свойства пленок ЦТС, легированных лантаном [Текст] / Ю. В. Подгорный, А. С. Вишневский, К. А. Воротилов [и др.]
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 468-474.
Исследовано влияние легирования лантаном пленок цирконата-титаната свинца (ЦТСЛ) на поляризационные свойства и токи утечки. Пленки сформированы золь-гель методом при температуре отжига 650° C. |
