| |
Аржанова, Н. А.
Процессы самоорганизации при электролитическом формировании наноструктур в полупроводниковых системах на основе кремния [Текст] / Н. А. Аржанова, М. А. Проказников, А. В. Проказников
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 441-455.
Исследуется роль поверхностных процессов в формировании динамики электрохимических реакций кремния со фторсодержащими электролитами в ходе реакций порообразования в кремниевой матрице в технологиях наноструктурирования поверхности и объема. |
