| |
Выбор оптимальных параметров лазерного излучения для моделирования ионизационных эффектов в кремниевых микросхемах объемной технологии [Текст] / А. Ю. Никифоров, П. К. Скоробогатов, А. Н. Егоров, Д. В. Громов
// Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 2. – С. 124-132.
Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. |
