|
Скоробогатов, П. К. Лазерное имитационное моделирование за дифракционным пределом [Текст] / П. К. Скоробогатов // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 2. – С. 118-126.
Приведены результаты обзора исследований в области современной нанооптики, которые показывают, что существуют различные механизмы проникновения энергии лазерного излучения вглубь субволновых апертур. |