| |
Дунаев, А. В.
Обзор спектров излучения плазмы хлора, хлороводорода, аргона и водорода [Текст] / А. В. Дунаев
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 3. – С, 202-206.
Изучены обзорные спектры излучения плазмообразующих газов хлора, хлороводорода, аргона, водорода, а также спектральный состав данных газов в присутствии полупроводниковой пластины арсенида галлия. Сделано предположение, про связь между интенсивностью излучения и скоростью травления в плазме хлора и смесей с аргоном и водородом. |
