| |
Новиков, Ю. А.
Виртуальный растровый электронный микроскоп. 5. Применение в нанотехнологии и в микро- и наноэлектронике [Текст] / Ю. А. Новиков
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 4. – С. 306-320.
Приведены примеры применения виртуального растрового электронного микроскопа, выполненного на основе симулятора, для аттестации размеров тест-объектов на низковольтном РЭМ и калибровки высоковольтного РЭМ, работающего в режиме регистрации вторичных медленных электронов. |
