| |
Формирование межэлементарной металлизации GaAs монолитных интегральных схем на основе меди [Текст] / С. В. Ишуткин, В. А. Кагадей, Е. В. Ерофеев, Е. В. Анищенко
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 4. – С. 282-289.
Представлены технологические решения по формированию межэлементной металлизации GaAs СВЧ-монолитных интегральных схем на основе тонкопленочной композиции W/Cu/WN_х. |
