| |
Тонкопленочный конденсатор на основе титаната стронция, сформированного золь-гель методом [Текст] / Анараки Х. Сохраби, Н. В. Гапоненко, М. В. Руденко [и др.]
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 476-480.
Синтезирован тонкопленочный сегнетоэлектрический конденсатор на подложке кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом. |
