|
Гусев, Д. В. Разработка кристалла матрицы тензорезистивных осязательных преобразователей давления для робототехники [Текст] / Д. В. Гусев, Р. С. Литвиненко, В. С. Суханов // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 472-475.
Представлена конструкция кремниевого кристалла матрицы тензорезистивных чувствительных элементов давления МИПД-32 для интеллектуальных робототехнических комплексов, обладающих функцией тактильного восприятия. |