| |
Создание литографических масок с помощью сканирующего зондового микроскопа [Текст] / Д. А. Бизяев, А. А. Бухараев, С. А. Зиганшина [и др.]
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 437-447.
Представлены экспериментальные результаты по сканирующей зондовой литографии - получению литографических масок с помощью сканирующего зондового микроскопа. |
