| |
Конструктивно-технологические особенности изготовления СВЧ GaAs монолитной интегральной схемы малошумящего усилителя с медной металлизацией лицевой стороны [Текст] / С. В. Ишуткин, В. А. Кагадей, Е. В. Ерофеев [и др.]
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 6. – С. 428-436.
Представлены конструктивно-технологические решения по формированию GaAs монолитной интегральной схемы с металлизацией лицевой стороны на основе меди. |
