| |
Ежовский, Ю. К.
Формирование и некоторые свойства нанослоев халькогенидов цинка на полупроводниковых матрицах [Текст] / Ю. К. Ежовский, Н. В. Захарова
// Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 1. – С. 21-28.
Представлены обобщенные результаты по синтезу ультратонких слоев халькогенидов цинка методом атомно-слоевого осаждения на поверхности кремния. Установлены закономерности хемосорбции компонентов и условия слоевого механизма формирования наноструктур. |
