| |
Смирнов, Д. И.
Применение двухволновой рентгенооптической схемы совместных измерений зеркального отражения и диффузного рассеяния рентгеновского излучения для исследования многослойных тонкопленочных структур [Текст] / Д. И. Смирнов, Н. Н. Герасименко, В. В. Овчинников
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2016. – Т. 21, № 1. – С. 75-81.
Представлены результаты комплексного исследования параметров диффузионно-барьерных структур ТiN/Ti с помощью методов относительной рентгеновской рефлектометрии и диффузного рассеяния рентгеновского излучения, реализованных на базе двухволновой рентгенооптической схемы измерений. |
